@article{weko_249_1,
   author	 = "加藤,達也 and 山梨,秀則 and 江藤,昭弘 and 神藤,正士",
   title	 = "熱陰極直流放電プラズマによる金属表面へのSiC薄膜生成",
   journal	 = "静岡大学大学院電子科学研究科研究報告",
   year 	 = "2000",
   volume	 = "21",
   number	 = "",
   pages	 = "69--74",
   month	 = "mar"
}