WEKO3
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エバネッセント光の動的空間分布制御による次世代半導体表面ナノ欠陥の高速計測法
http://hdl.handle.net/10297/6271
http://hdl.handle.net/10297/6271e7152dd9-d0d7-4a62-a865-2366b3ae1d00
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
20569001seika.pdf (319.7 kB)
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Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||||
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公開日 | 2011-11-25 | |||||||
タイトル | ||||||||
言語 | ja | |||||||
タイトル | エバネッセント光の動的空間分布制御による次世代半導体表面ナノ欠陥の高速計測法 | |||||||
タイトル | ||||||||
言語 | en | |||||||
タイトル | High-Speed Defect Measurement of Next-Generation Semiconductor Wafer Using Active Control of Evanescent Light | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
キーワード | ||||||||
言語 | ja | |||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 複数画像再構成 | |||||||
キーワード | ||||||||
言語 | ja | |||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 定在エバネッセント照明 | |||||||
キーワード | ||||||||
言語 | ja | |||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 空間変調照明 | |||||||
キーワード | ||||||||
言語 | ja | |||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | エバネッセント光 | |||||||
キーワード | ||||||||
言語 | ja | |||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 欠陥計測 | |||||||
キーワード | ||||||||
言語 | ja | |||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 超解像 | |||||||
キーワード | ||||||||
言語 | ja | |||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | ナノ計測 | |||||||
キーワード | ||||||||
言語 | ja | |||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 半導体表面計測 | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||||
資源タイプ | research report | |||||||
著者 |
臼杵, 深
× 臼杵, 深
WEKO
4312
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書誌情報 |
発行日 2011-06-01 |
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出版者 | ||||||||
言語 | ja | |||||||
出版者 | 静岡大学 | |||||||
NDC | ||||||||
主題Scheme | NDC | |||||||
主題 | 549 | |||||||
注記 | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | 2008年度~2010年度 科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書 | |||||||
KAKEN | ||||||||
関連名称 | 20569001 | |||||||
フォーマット | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | application/pdf | |||||||
著者版フラグ | ||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |