@misc{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00001745, author = {陳, 克紹}, month = {Mar}, note = {博士学位論文の要旨 学位記番号:工博甲第15号, 甲第16号, application/pdf}, title = {グロー放電重合を利用した含ケイ素化合物からの薄膜製造とその性質}, year = {1984} }