@misc{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00001761,
 author = {加藤, 達也},
 month = {Mar},
 note = {博士学位論文の要旨 学位記番号:工博甲第237号, 甲第326号, application/pdf},
 title = {熱陰極直流放電プラズマによる銅基板上への絶縁膜生成と物性評価},
 year = {2004}
}