@misc{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00001824,
 author = {田原, 傑},
 month = {Mar},
 note = {博士学位論文の要旨 学位記番号:工博乙第85号, 乙第86号, application/pdf},
 title = {ULSI配線微細加エプロセスにおける加工形状制御に関する研究},
 year = {2000}
}