@phdthesis{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00002011, author = {三村, 秀典}, month = {Mar}, note = {doctoral, 電子科学研究科, 甲第34号, application/pdf}, school = {静岡大学}, title = {水素化非晶質シリコンと単結晶シリコンとのヘテロ接合特性に関する研究}, year = {1987} }