@article{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00000247,
 author = {御園, 勝秀 and 神藤, 正士},
 journal = {静岡大学大学院電子科学研究科研究報告},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {49--53},
 title = {電子密度分布を考慮した誘導結合サーチコイルインピーダンスによるプラズマパラメータの評価},
 volume = {20},
 year = {1999}
}