@article{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00000249,
 author = {加藤, 達也 and 山梨, 秀則 and 江藤, 昭弘 and 神藤, 正士},
 journal = {静岡大学大学院電子科学研究科研究報告},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {69--74},
 title = {熱陰極直流放電プラズマによる金属表面へのSiC薄膜生成},
 volume = {21},
 year = {2000}
}