@techreport{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00003941,
 author = {奥谷, 昌之},
 month = {May},
 note = {平成19年度～平成20年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書, application/pdf},
 title = {沿面放電法による薄膜のダイレクトパターニング},
 year = {2009}
}