@techreport{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00005970,
 author = {臼杵, 深},
 month = {Jun},
 note = {2008年度～2010年度 科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書, application/pdf},
 title = {エバネッセント光の動的空間分布制御による次世代半導体表面ナノ欠陥の高速計測法},
 year = {2011}
}