@article{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00006173,
 author = {水野, 武志},
 journal = {技術報告},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {75--76},
 title = {プラズマ技術と成膜技術(ナノテク製造中核人材の養成プログラム)},
 volume = {18},
 year = {2013}
}