@techreport{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00006946,
 author = {奥谷, 昌之},
 month = {Jun},
 note = {2010年度～2012年度 科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書, application/pdf},
 title = {コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング},
 year = {2013}
}