@techreport{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00009424, author = {田部, 道晴}, month = {May}, note = {2011年度~2015年度 科学研究費助成事業(基盤研究(S))研究成果報告書, application/pdf}, title = {シリコンナノ構造を基盤としたドーパント原子デバイスの開発}, year = {2016} }