@techreport{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00009482,
 author = {清水, 一男},
 month = {May},
 note = {2013年度～2015年度 科学研究費助成事業(基盤研究(C))研究成果報告書, application/pdf},
 title = {大気圧マイクロプラズマを用いた半導体結晶成長アシストの基礎研究},
 year = {2016}
}