@techreport{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00009491,
 author = {臼杵, 深},
 month = {Jun},
 note = {2013年度～2015年度 科学研究費助成事業(基盤研究(C))研究成果報告書, application/pdf},
 title = {超精密部品の高速形状検査のための三次元光学顕微計測基盤技術の開発},
 year = {2016}
}