@techreport{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00009530,
 author = {坂元, 尚紀},
 month = {Jun},
 note = {2014年度～2015年度 科学研究費助成事業(若手研究(B))研究成果報告書, application/pdf},
 title = {薄膜断面AFM観察による応力印加された薄膜内部の圧電特性評価},
 year = {2016}
}