@techreport{oai:shizuoka.repo.nii.ac.jp:00009533, author = {猪川, 洋}, month = {Jun}, note = {2013年度~2015年度 科学研究費助成事業(基盤研究(B))研究成果報告書, application/pdf}, title = {SOI MOSFET単一フォトン検出器の高性能化に関する研究}, year = {2016} }